小弟最近到了一个新的公司，有一台蔡司的EVO HD 15 SEM，用六硼化镧灯丝，用了几个月，使用频率不高。公司里面用过SEM的人不多，培训的人也没有学好。我从03年开始接触SEM，用过若干JEOL的，FEI的，Hitachi的，我最近三天都在使用这个EVO HD 15，可以说这是我目前为止用过最难用的SEM的。样品是硅，没有喷金，调焦时候噪音大得要死，用fine focus感觉转半圈都没什么效果（在coarse focus跳得差不多情况下），到目前为止还没排到过20k的比较清晰照片。现在机器出问题了，过两天蔡司的人可能会来，求有经验的指点下，我到时好问他们。

ps：象散、对中都没有问题，在wobble下是正常的，主要问题是噪音贼大，调焦效果不明显。