原文由 cngctjy(cngctjy) 发表:求教各位高手，我在调解Focus旋钮时，光束也会跟着偏转，请问这是光路哪部分没有调解好，还是样品 eucentric height 没有调解好？参考有关操作手册后，在做样品 eucentric height 调解时，点了 α wobble 后，样品摆动厉害，怎么调解Focus旋钮都没法使其不摆动，请问，此时的Z轴调解是通过调Focus旋钮来实现吗，还是应该调解别的？
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