如题，等合轴等做调好后，调节样品杆使入射束方向为【001】Al。此时alfa值为-25°左右, beta为5.6°。当插入objective aperture的时候机器有警报声，提示说 stage touch， solved by system。然后换了个区域，重新调入射束方向，alfa值为10°左右, beta为7.3°，再插入aperture，没有警报声！可当取出样品杆的时候，电脑提示column 的真空过高，没办法，只好重启！

  我觉得应该是由于之前的aperture和样品杆的碰触导致了后来的破真空，我的疑问是，以前我也有把alfa值调到-25°左右（至少是-20），也没有出现类似的情况啊

  也问了设备管理员，他说应该是我的 z position太低了，问题是我只是把样品调到 eucentric position啊.

  我用的是FEI的F20，我只了解TEM方法的原理，至于如何设置设备说实话真的是很欠缺。请各位专家给些意见吧，谢谢了！