回复madaowo发表于:2020/3/14 18:27:28悬赏金额:
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未解决
如题,等合轴等做调好后,调节样品杆使入射束方向为【001】Al。此时alfa值为-25°左右, beta为5.6°。当插入objective aperture的时候机器有警报声,提示说 stage touch, solved by system。然后换了个区域,重新调入射束方向,alfa值为10°左右, beta为7.3°,再插入aperture,没有警报声!可当取出样品杆的时候,电脑提示column 的真空过高,没办法,只好重启!
我觉得应该是由于之前的aperture和样品杆的碰触导致了后来的破真空,我的疑问是,以前我也有把alfa值调到-25°左右(至少是-20),也没有出现类似的情况啊
也问了设备管理员,他说应该是我的 z position太低了,问题是我只是把样品调到 eucentric position啊.
我用的是FEI的F20,我只了解TEM方法的原理,至于如何设置设备说实话真的是很欠缺。请各位专家给些意见吧,谢谢了!