FEI Quanta 200i 扫描衬度问题求助_扫描电镜_显微镜_仪器问答_仪器信息网

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回复susa1981发表于：2020/9/3 15:39:02悬赏金额：7积分状态：未解决

各位坛友，我正在使用FEI Quanta 200i，应该是钨丝的。利用该仪器（FIB-SEM）进行三维重构，样品始终处于Eucentric位置。

我的样品是Ni和YSZ(YSZ: 8mol% yttria stablized zirconia)电极片，空隙用树脂填充了。想得到Ni 和YSZ的好的衬度。

问题是：在SEM观察中，样品始终处于Eucentric位置，无论用ETD还是BSED检测器，也调节了电压和电流，但均得不到好的衬度。

看论坛里有好多用该系列的高手，不知有没有该方面的经验，麻烦赐教，怎么调才能调出好的衬度？？？？

不胜感激！！！

1# asahi42 回复于：2020-09-03 20:13:02

FEI Quanta 3D 200i，这机器有年头了~

建议你用低真空+SSBSD观察，这样可以最大限度对抗树脂荷电的影响。上个图看看？

当然了，做FIB时候的结果和单使用SEM时候的结果往往不可兼得，这个需要取舍。

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