这个，根据我现有的认识，喷了金以后，金峰会对峰位置相近的元素结果造成干扰，并且可能会对含量低的元素的出峰产生影响。所以一般不导电样品做EDS，喷碳不喷金。但是目前能谱厂家都能够有预设样品已喷金的选项，通过对结果的后处理，将喷金的影响降低到最低限度。

不导电直接分析的话，样品上荷电的积累容易导致点对点分析的定位不准确以及mapping分析的漂移。

如果用低真空来避免荷电影响，在低加速电压下，低真空可能会使电子束扩散，因此要使用自带的X-ray cone；在高加速电压下，可能会影响部分计数率，所以要适当增加束流。

抛砖引玉~具体正确与否，请fengyonghe专家和Sept专家指正~