先上张图
本人想做如图中黑色框区域的EBSD,氧化膜不导电,属陶瓷,主要的区域为红色部分
试过很多方法,比如化学酸洗,氧化膜不腐蚀,酸洗后在氧化膜和基体部分会有下凹,主要是在冲洗过程中,酸残留在氧化膜和基体交界的角落里,冲洗不掉,导致此区域过度腐蚀,EBSD做不出来
其次是电化学,按理说电化学腐蚀的效果会很好,可是电化学有尖端放电,也就是说在靠近基体边缘,像氧化膜区域会腐蚀的更剧烈,导致氧化膜区域整体成一坡状,EBSD也做不了了
第三是振动抛光,用2000号砂纸磨过后采用振动抛光,据说振动抛光可以对任何样品进行抛光,可惜事与愿违,抛出来的样品的确很平整无划痕,可惜怎么也打不出花样,郁闷的
像离子抛光就不说了 可测范围太小直接忽略
补充一点:振动抛光的样品不仅打不出花样,还分不清氧化膜,所以需要氧化膜适当的高出一点点
看看有没有高手能够支个招