回复wyy23477发表于：2020/8/20 14:29:24悬赏金额：
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未解决
我们单位有一台Quanta 3D FEG的扫描电镜，一个月前出现一个故障，具体描述如下：因为是场发射的，所以一般周末时灯丝也是点着的，一个月前的一个周一，打开显示器一看，右下角显示真空状态的图标，电子枪部分显示为灰色，见附图，当然电子枪真空出问题了，灯丝也就自然降为零了，观察日志显示时FGSU通讯故障。然后把电子枪真空抽上，也就2分钟就抽好了。前几周一般都是每个周末出现一次，偶尔工作日会出现一次，总之这一个月出现了6-7次了。打电话问工程师，工程师让我注意后面电源柜的通风散热，我把电源柜的后盖也打开了，屋内空调一直在22度左右，也感觉不到散热不好，现在就是不知道原因。后来又打电话问了另一个工程师，说怀疑时离子泵的电源有问题。
哪位高手有遇到过这种类似的问题啊，帮忙指教一下啊，急啊。心里纠结。
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