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回复mxchen1215发表于：2020/8/13 8:57:17悬赏金额：15积分状态：未解决

【序号】 1

【题名】：高均匀复杂光刻照明系统技术研究
【作者】：林妩媚
【日期】2011
【作者单位】中科院光电技术研究所

【链接】http://search.gucas.ac.cn/PaperDetailInformation.aspx?xh=200418015120010

【序号】2

【题名】光学椭偏超薄膜测量方法研究
【作者】陈艳艳

【作者单位】中科院力学研究所,

【日期】2007.03.30, 81P

【链接】http://dspace.imech.ac.cn/old/handle/311007/22865?mode=full

【序号】3

【题名】光谱椭偏成像系统研究

【作者] 孟永宏

【作者单位】中科院力学研究所

[日期] , 2007.03.30, 108P

【链接】http://dspace.imech.ac.cn/old/handle/311007/23587

1# qq250083771 回复于：2020-09-06 10:18:17

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