我溅射制备GaN, 做xps测试的N1s谱，分峰后除了397ev处的GaN, 在394-395ev之间有明显的峰位，在各种手册中都查不到峰的归属，做了几个样品，都有，为什么？我的邮箱
bsjia@163.com ,如果有人能接到，我将非常感谢。另外，本人刚接触XPS,有一些问题希望能够得到解答，谢谢！
1. C1S校正问题。测试给我的数据中包含所测元素的窄谱和C的窄谱。所给我的数据是否是已经经过C1S校准的？分峰处理前是否需要将所给我的数据都减去C的数据呢？ 所给我的仪器测得物质原子比都是我所要求的几种元素，不含C元素的比，但是有一个样品却列出了C所占的原子比，这是为什么？2.分能级的问题。如As 3d 5/2 和3d 3/2 , 是测的As 3d,然后自己分峰获得5/2和5/3呢，还是测的时候直接就测3d 5/2 和3d 3/2 ？ 测试者给我的数据包含仪器测得的原子比有的写As3d5,有的写As3d. 但是excel数据窄谱都写的是3d.3. 分峰的时候半高宽有的太大，如N1s有的已经超过了3.5，我看有的书上说半高宽一般不应该超过2.7？ 我有的弱峰很扁平，半高宽达到10甚至20以上，是否有意义？4.分峰的时候，一组数据分一个峰，分2个峰，谱图拟合得都很好，怎么选择啊?5.给我的窄谱有没有可能包含其他元素的俄歇峰？6,全谱扫描给我的一些数据的意义不是很清楚如：Area (P) CPS.eV Area (N) At.% PP At. % F Q SF TXFN Backgnd PP Height Counts PP Hgt (N)
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