325nm拉曼光谱测硅片问题请教_拉曼光谱_光谱_仪器问答_仪器信息网

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回复norben发表于：2020/7/20 11:42:50悬赏金额：8积分状态：未解决

请问有人用325nm的拉曼测过硅片没有。我测得时候全是噪音，500附近啥都没有，怎么对焦都不行，请问测过的人又没有什么技巧可以分享一下，怎么测硅信号。我主要是想知道表面信息，所以采用325nm。我的样品是多层膜，Si/Al2O3/Si/Al2O3...，每层只有几个纳米。大虾/大牛啥的，帮帮忙哈。非常感激~~~~~！！！！！！！！！！！！！

1# nanbowan 回复于：2020-07-20 13:46:50

楼主说的硅片是单晶硅吧？单晶硅容易氧化，在表面形成一层氧化硅的薄膜，325纳米激光的穿透深度浅，会被阻挡，所以不容易测出单晶硅在520的信号，还有就是用紫外的时候要采用紫外专用物镜。

虽然难测，但是还是可以测出来的再调一下光路试试吧。

不过测你的几个纳米厚的多层膜就很难逐层测出来了。利用光的穿透深度首先Si层都很难穿透，就算穿透了，拉曼在纵向的分辨率在2微米以上，对于几个纳米的厚度根本分辨不了。

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