有什么办法可以去除G1胶而不损坏Si的么？_透射电镜_显微镜_仪器问答_仪器信息网

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回复w4m0330发表于：2020/6/20 22:35:12悬赏金额：9积分状态：未解决

有块MBE长的Si样品上面有些III-V，需要看横截面的加热In-situ样品变化的情况，感兴趣的区域在样品最表层的10nm厚。表面不能有对贴的G1胶，因为G1胶在表面就会影响加热以后样品的变化。
常规做样（研磨，tripod）试验了两个多月都失败了，除了FIB，请教各位还有什么办法可以做？

我另外想问的是，有没有什么化学试剂可以溶解（腐蚀）G1胶却不会损坏Si的么？
多谢啦

1# yihuiiii 回复于：2020-06-20 22:49:12

有点没看明白，是截面样品还是平面样品，如果截面样品出了薄区，你可以用氩离子清洗试试，一般都是用它清理有机物什么的，不知道对G1胶有没有效。

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