上周五做完样之后想把离子源温度和传输线温度降下来，设定传输线200度、离子源160度就走开了。过了约半小时后回来发现温度指示灯还在闪，传输线都降到100以下，离子源也降到快100了，心想周末也不用，就先关机了。
今天来开机，正常传输线和离子源温度会自动到设定值，可还在30多度，无响应。power中+75V、-75V、+175V、-175V都为0
电话咨询工程师，说可能LEN DRIVER ASSY需要更换。
仪器刚过保，换一个要好多钱钱啊，而且还有昂贵的人工费。不知有没有高人知道是什么出异常了，真需要换LEN DRIVER ASSY吗？