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回复zhaogod发表于：2020/6/6 17:24:23悬赏金额：1积分状态：未解决

我的材料是在蓝宝石（Al2O3）上长了一层约为100nm厚的二维生长的ZnO，而后对ZnO刻蚀（LED的pattern）。现在我想看每个LED的边沿是否是比较笔直的被刻蚀的，也即是讲，看他边沿的粗糙状况（一般的方向，不是crosssection）。现在问题在于，每次看的时候充电效应很严重，完全看不清晰（试过镀银，且在基底贴了石墨导电片）。本人是初接触SEM，故而想请教大家，我该怎么办？

1# zhaogod 回复于：2020-06-06 17:24:23

敬请大家不吝赐教，谢谢！

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