回复sdnly发表于：2012/5/7 11:23:34悬赏金额：
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agilent脱气机有点问题，拆开后将泵连在传感器上让他自己抽自己，还是抽不停，换了几个主板，还是一样的问题。这样的问题主要是什么东西坏了？传感器、电磁阀、还是线路板。（泵没有问题的）
这个还真不好检查，一般来说，电磁阀和依次清洁一下，看看会不会改善，其他的就只能考更换新的配件来检查是否正常了。
还有就是看看管路和真空腔是否有漏气。。。
真空脱气机的故障度是 190 Torr（约 800 mV）。当真空脱气机有故障时（如漏气等）就达不到这一指标。当超过这一故障指标时，黄色状态指示灯点亮，并且真空泵继续运转。如果在 8 分钟之内脱气机不能达到两种正常操作模式，红色状态指示灯点亮，真空泵停止运转。
原文由 sdnly(sdnly) 发表:
agilent脱气机有点问题，拆开后将泵连在传感器上让他自己抽自己，还是抽不停，换了几个主板，还是一样的问题。这样的问题主要是什么东西坏了？传感器、电磁阀、还是线路板。（泵没有问题的） |
真空腔漏气，估计是密封不好。以前我们的
液相也是这样的问题。
jgslhq 回复于：2012/5/7 13:35:51
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