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共有 2 人回复了该问答离子减薄 详细原理
 回复malz发表于：2020/3/20 12:53:05悬赏金额：12积分 状态：未解决
最近做离子减薄，想知道其详细的原理，哪位大虾有相关方面的书籍推荐啊？
 回复  1# conqueror318  回复于：2020-03-20 20:29:05
离子减薄原理很简单，首先要知道减薄要有个高压电子枪，它的作用就是要发射高能电子束，高能电子束轰击到待减薄区域时会将表层的物质打散成细小的颗粒。其次减薄时要通有Ar气，Ar气的化学性质稳定，一般不会与减薄样品发生反应，给减薄腔内接一个离子泵（总之是可以抽气的东西吧）把减薄出来的粒子与Ar气再抽出来。
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