回复xcc_12345发表于：2020/3/14 16:47:57悬赏金额：
14积分 状态：
未解决
各位高人，各位前辈，大家好。小女子的扫描电镜最近遇到一个大麻烦，烦请各位帮忙看能否解决。谢谢。
故障现象：能谱仪在开始抽真空时扫描电镜真空系统停止工作
结论：能谱仪存在漏气问题，因为通常情况下能谱仪在完成一次20分钟抽真空过程后，放置几天的情况下重新抽真空前其内部真空度可以保持在一个良好的范围，重新对其抽真空时电镜的真空状态会保持在“READY”状态或仅仅切换到EVAC”状态。而此设备在同样的情况下通过监测电镜真空度的变化，发现电镜真空度下降幅度很大甚至直接导致电镜真空系统停止工作，所以能谱仪存在漏气问题。
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