回复thv发表于:2020/2/29 11:29:16悬赏金额:
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未解决
各位老师好:
我想请教一下气体质量流量控制器的问题。前段时间对其工作原理有了一点了解,其检测方法是根据气体的热力学性质。有几个问题向咨询各位老师一下。
(1)MFC的读数是气体的流速。不同气体压力下,相同流速,从出口出来的气体的摩尔数是不是不一样的。也就是说,在混合气体的时候,要保持混气各组分比例不变,不但要保持流速比固定,气体的压力也要固定,否则结果会发生变化。这点我还没有想清楚。
(2)是不是不同种类的气体对应不同的MFC。就是说用于测N2的MFC(0-5scc/min),不能用于CO2,即便量程相同。
(3)除了气体要除颗粒和干燥外,还有没有别的注意事项。
(4)哪个牌子的MFC比较好,如果买国产的,有没有什么牌子不错的。
多谢各位了!