先说一下背景。

我们公司主要做电子陶瓷，产品主成分为氧化锌。晶粒尺寸主要在1-10um。因为是做生产，不是科研单位，估计我们的预算应该是够用了。

再说一下对设备的要求。
（1）领导要求电镜在1w倍下能够得到清晰的晶粒形貌，同时要求设备能做背反射等等。
同时我们公司现在有一台OXFORD的EDS，想直接匹配到电镜上，型号为7663， System：ISIS300。
（2）除了日本电子以外的其他品牌都在考虑范围内，因为我们原来的SEM就是日本电子的（80年代产品），因为售后太差，所以趴窝了。我们不得不购买一台新的。
设备性能接近的情况下，优先考虑欧美产品，其次是日本和韩国的，国内品牌不考虑。
（3）相比较设备的性能，我们更优先考虑售后服务和后期的定期维护，常用备件的花费。
这一点是最重要的，这也是领导坚决不买日本电子的原因。我们公司付给日本电子数万维修费用后，日本电子告诉我们他们给我们的电路板好像拿错了，而且每天来干活，只工作3-4个小时。如此折腾1年之后，我们决定放弃这台SEM。
（4）设备对环境的要求不能太苛刻。

另外请不要推荐太贵的机器，请高手在我们给出的框架内给出建议。十分感谢。