回复ssssss0527发表于:2020/1/12 12:30:52悬赏金额:
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未解决
新手菜鸟,看关于薄膜(几个um,基底不到1mm)内应力测量的文献,有点晕。我之前理解XRD测得都是biaxial,而且是整个film的marcostress。和beam deflection这种基于stoney方程测曲率的方法在测量能力上是一样的。
可是我今天看到有人用synchrotron做出来微区的microstress distribution,而且还是三维的(有垂直于平面的z轴方向),我就凌乱了。。。我还安慰自己可能是同步的比较神奇,可刚刚又看到一篇用Bruker D8 Discover TXS也做出来了三维的应力分布图。哭了。。
特请教,到底什么样的XRD可以测z轴的应力?什么样的可以测micro?谢谢大家!btw,那个Bruker是一个什么样的仪器,不是同步吧?(TXS啥意思?他还说用了Eulerian cradle)?小角衍射在薄膜应力测量上有什么优势呢?GIXS比SAXS是不是只是测得膜薄了点,其他都差不多呢?