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回复ssssss0527发表于：2020/9/20 7:56:57悬赏金额：19积分状态：未解决

本科小屁孩，现在做实验，不锈钢氧化膜，估计厚度在100nm。研究生学长说膜太薄了，没法表征（他只做了XPS，打算做俄歇）。。。我就说了几个常见的，学长说 SEM看不清啊，EBSD打的太深会穿，TEM没法制样。。。再问就让我自己查书去。。。
我觉得吧 100nmSEM搞不定么？背散射也就是几十个纳米吧，为什么说EBSD不行呢？TEM为什么不能制这个样呢？还望大家多点拨~~
谢谢！

1# fengyonghe 回复于：2020-09-20 14:23:57

学长说的对。SEM看不锈钢氧化膜什么也看不到，背散射几百纳米以上，二次电子只能看看膜是否完整，EBSD打的太深，TEM你想怎么制样具体说说。100nmSEM搞不定。

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