高负荷运行状态下，为保证测试的顺利，一般包括如下几方面的维护：
1、样品室    长期饱和状态运行，样品室污染肯定是存在的，所以有必要对其进行定期清理，对其运动部件进行有效润滑等
2、真空系统  真空劣化，对测试的稳定性是又很大影响的，是故应该对其进行有效的维护，一般也就对几个"O“型环、密封圈之类以及快门做做防老化处理，真空泵的效率维护等
3、机械部份  机械动作部位长时期反复动作，其动作精准将逐步降低，比如Arm齿轮，自旋装置，2-Theta驱动定位等。这方面维护可能比较困难，也并非单纯的润滑可以概括，最好是当发现有发展的趋势时立即对应，以免问题堆积加深
4、光路系统  如果仪器环境较差，或粉末样品多，光路的污染也是很严重的，大概包括晶体表面的污染，以及分光室内壁的灰尘等，均会影响荧光衍射
5、参数部分  浅白地说，任何XRF仪器的原理，总不外是光电信号的转化过程。长期运行的仪器，其电子脉冲参数一定会有波动与变化（当然，测试工作轻松的仪器也会存在这现象，只是相对没有那么严重而已），故，如有条件，应该定期对其参数进行一些低级的标准化设置
以上个人见解，如有不妥，敬请指教。