回复shenghuo0903发表于：2020/7/26 18:30:10悬赏金额：
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背景：多晶硅含碳偏高，主要是三氯氢硅精馏提纯不够。企业一般是热氢化的回收氢和还原炉的回收氢混着用，氢化炉在1300度以上时，它的石墨罩会和氢气生成CH4，含量高的时候能达到几百个PPM，在还原炉中分解沉积在硅棒中。还有就是吸附塔再生时也能产生一定量的CH4。
大家都知道甲烷热裂生成炭黑和氢气的反应，就是隔绝空气加强热到1000至1500度左右.在1100度以下时不可能出现石墨与氢气化合生成甲烷的反应，或者大家也可以用热力学计算一下，先假使二者可以反应，通过平衡常数计算出的含量能有几个ppm就很不容易了。
CH4(g)＝C(石墨)＋2H2(g) 反应自发温度823K
多晶硅生产中氯硅烷中总碳(甲基硅烷)质谱分析?
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