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共有 2 人回复了该问答求XRD测量薄膜残余应力问题
 回复monkeydkkk发表于：2020/7/21 16:56:19悬赏金额：19积分 状态：未解决
不知道有没有用XRD测量过薄膜残余应力朋友，求指点一下，我的薄膜是TiAlN/CrN多层膜，厚度只有1um，本人采用sin2(fai)法的方法测过，但是过程由于薄膜太薄，没有薄膜的峰信息，只有基底峰，不知有没有人遇到过类似情况，求指导！！或者能告诉我北京哪里可以做这方面的测试？谢谢！！
 回复  1# handsomeland  回复于：2020-07-24 17:38:19
如果薄膜峰不明显时，使用小角衍射有可能获得更多信息。
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