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共有 2 人回复了该问答
求XRD测量薄膜残余应力问题
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monkeydkkk
发表于:2020/7/21 16:56:19
悬赏金额:
19积分
状态:
未解决
不知道有没有用XRD测量过薄膜残余应力朋友,求指点一下,我的薄膜是TiAlN/CrN多层膜,厚度只有1um,本人采用sin2(fai)法的方法测过,但是过程由于薄膜太薄,没有薄膜的峰信息,只有基底峰,不知有没有人遇到过类似情况,求指导!!或者能告诉我北京哪里可以做这方面的测试?谢谢!!
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回复
1#
handsomeland
回复于:2020-07-24 17:38:19
如果薄膜峰不明显时,使用小角衍射有可能获得更多信息。
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