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共有 1 人回复了该问答关于离子溅射仪问题请教
 回复shasha发表于：2020/8/17 17:19:51悬赏金额：12积分 状态：未解决
我们的离子溅射仪在每次换Pt靶材之后总是会出问题，会提示你由于真空度的原因或者chamber内contamination的原因不能进行discharge，为什么呢？各位有没有遇到过此类问题呀？检查真空度也达到了要求，内部也擦过很多了，貌似也擦干净了吧，还是不行。
 回复  1# fanger  回复于：2020-08-18 14:44:51
问一句，您是什么型号的溅射仪呢？
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