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共有 3 人回复了该问答在做AR-XPS测试 需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程吗？
 回复liuaqianqia发表于：2020/8/9 11:28:35悬赏金额：20积分 状态：未解决
AR-XPS中氧的平均自由程
请教高手！
在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？

background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程”
 回复  1# xps_aes  回复于：2020-08-31 15:30:35
查一下文献吧，imfp
好像应该叫做电子在SiO2中的非弹性散射平均自由程。
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