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共有 5 人回复了该问答束流大小和探针电流大小的关系
 回复phylla发表于：2020/7/24 21:31:00悬赏金额：7积分 状态：未解决
Hitachi S-4800冷场扫描电镜
使用扫描电镜进行拍照的时候，参数设置为：加速电压10kv，发射电流10uA
根据工程师给的图表，可以估计，探针电流大小在1~2 X 10-11 A

那么，此时，束流大小大概多少？因为想计算电子束在样品表面的剂量（dose）

非常感谢~！
 回复  1# drizzlemiao  回复于：2020-07-24 21:41:00
束流不就是探针电流吗?一个叫beam，一个叫probe。
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