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共有 22 人回复了该问答对芯片快速大面积摄像
 回复hpyao发表于:2006/2/16 15:30:00悬赏金额:20积分 状态:未解决
刚刚发现这个网站,欣喜ing!有一些疑问,敬请DX们赐教啊!

我们的应用是芯片的检查,对分辨率要求不是很好,10nm足够了,但是对扫描速度和电流稳定性要求很高
  1) 我们需要对一块芯片进行全芯片的摄像,需要连续拍摄几万张高分辩率SEM图像的矩阵,要在一个合理的时间内完成,每张的扫描时间最好在10s以内。
  2) 几万张照片需要几十个甚至上百个小时的连续拍摄,必须要全自动,因此焦距必须很稳定,也就是电流要很稳定(也许一天停下来调2次焦距还是可以的)

什么样的SEM能够最好地满足我们的需求呢?我们进行了很多调研,得到了一些信息,请DX们帮助判断是否正确:
  1)

我们的场地是确定的,在六楼,震动、电磁都是问题,但是我们可以进行专门的装修和购买减震台
  1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的,有什么专业的单位可以测?联系方法?价格几何?
  2) 用什么防震台比较好?对于2万倍以下的放大,震动问题是否很难解决?

从电流稳定性方面考虑,FE-SEM是最佳选择,但是我们不需要很高分辨率,环境也达不到要求,买FE-SEM有些浪费;
W-SEM电流稳定性很差,寿命甚至不能满足一次连续摄像,速度又慢,不能考虑
LaB6-SEM对于我们的应用,是不是最好的选择?速度和FE-SEM不知道相差多少?

以上问题确实很棘手,哪位DX对SEM方面比较了解,敬请和我联系:haiping.yao@gmail.com,139 1634 4697

Thanks in advance!

以来就问这么多,惭愧...不过真的是很急...
 回复  3# shxie  回复于:2006/2/16 17:11:00
原文由 hpyao 发表:
  1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的,有什么专业的单位可以测?联系方法?价格几何?
  2) 用什么防震台比较好?对于2万倍以下的放大,震动问题是否很难解决?

鉴于你要用来测试10nm的微区,那么场发射少不了了。
磁场和振动的测试可以委托电镜厂商,当然也可以委托相应单位,比如上海市计量局就应该有相应的测试,你打114问一下他们的号码就是了。
防震台的问题比较尴尬,我觉得为什么不能搬到一楼?10nm的分辨率即使用防震台也未必效果太好吧?国内有代理防震台的,在本版的采购交流里面有一个代理:
http://www.instrument.com.cn/bbs/forum_407.htm,你可以找找看。
国外的防震台也有,不过要5万美金吧,复旦大学材料系买过一台,用在透射上的,德国产品,据说效果还行。电话似乎是65642029,陈老师。

至于2万倍一下的放大,对于场发射简直就是太简单了,如果有防震台,稳定性应该还可以吧。这些你都可以在找到厂家之后让他们给出专业意见。

Good Luck!
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