由于学习EDS时间不长，现在想起来一个问题，希望得到大牛的解答

EDS测轻元素的%，不是很准确。比如测C的量

那么测O的%可信比C大多少，是不是基本上和C是一样的？

另外(这个是主要问题), 在用Mapping时，测元素分布，会不会也因为O元素较轻，使测量结果不准。
比如我想测钢表面的氧化层时，有的地方较厚，有的地方较薄，是不是就有可能明明表面有氧化层，但是EDS的Mapping给的结果是这氧化层下面铁的信息，结果测出来此区是大面积的铁。那是不是说我调整工作电压（降低）就能打得到氧化层的信息了

比如说：O和Fe的元子序数差好多，那么这两种元素混大一起是不是会降低测出的误差？
C和Fe(比如说钢铁中含的C), 和这情况不是类似吗？

这问题该怎么理解，望大牛们能解答一二？
多谢！