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共有 7 人回复了该问答机械泵 气压抽不下去
 回复chengboo发表于：2020/7/3 21:26:08悬赏金额：10积分 状态：未解决
        大家好，我实验室的镀膜仪（型号：CS-400多靶直流、射频磁控溅射仪）出了些问题，想请教大家一下，谢谢。
        刚开始机械泵（型号：2ZX-4）的三相电压反向了，结果导致喷油，然后把电压接好，清理好喷出的油后，机械泵就不能像以前一样快速抽到10pa以下了，大概抽到40pa左右，再往下抽就很慢了，感觉有地方漏气，希望大家能提出一些意见，谢谢。
 回复  1# lylsg555  回复于：2020-07-05 15:20:08
先检查哪的接口漏气
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