我在Si(100)衬底上做的硫化镉薄膜,测出来是这样
![](http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/05/201105091138_293236_2267036_3.jpg)
其中CdS的峰好像有26.6(002),47.98(103),54.68(004),都是六角形的好像。
Si的峰有69.04(400),33(200),然后还有两个波包就不知道是怎么回事了。
而且33和69处的峰如果放大看,其实是两个尖锐的峰紧紧连在一起的
然后我又专门做了个衬底Si的XRD,以便把硅峰挑出来
![](http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/05/201105091147_293238_2267036_3.jpg)
除了69.16的(400)外,前面又多了两个宽的峰包,分别是22.48和33.5.
可以看到用硅衬底做XRD的话,以前33左右的Si(200)降低了,只能隐约分出来。
所以开始还以为是CdS,但卡片上找不到CdS的对应峰,而且用公式算过,不是CdS的。并且别的文献上凡是薄膜33处都是Si(200)的峰。
所以想请教大家几个问题:
1. 图2里,22.48和33.5处两个矮峰包是怎么回事,大家有测到过没,有没有可能是硅片为了掺杂导电而形成的,但好像记得杂质要超过5%才能被测到
2. 图1里33处的(200)为什么单独测硅片XRD的时候就很矮,甚至被淹没,在镀上薄膜之后,又冒出很高。是不是跟结构性消光什么的有关。Si(100)面测不到,是因为结构性消光,(200)很矮,是不是也是因为这个原因。是不是镀上CdS薄膜之后,因为表面晶格畸变,使(200)的消光效应减轻了,所以(200)就突出来了。
3. 图1里33和69处的峰如果放大看,其实是两个尖锐的峰紧密连在一起的,是因为什么原因
4.更低级的问题,请大家帮我扫盲。CdS六角结构的(002)和(004),(002)好理解,因为纵轴的1/2处有原子形成的晶面。但我觉得不应该存在(004)这个面啊,因为纵轴的在1/4处没有原子面。
大家帮帮我,万分感谢啊