大家好，我刚开始做TEM，不是很懂。图片1是我的样品，用mocvd在si上长的GaAS，再长InP。可以看到，在InP上有很多褶皱，这个是应力导致的吗？这个褶皱我怎么偏转都去不掉。还有，在GaAs层，有好多黑斑类的东西，这是减薄导致的，还是缺陷呢？



对比另外一张图片，一样的材料和结构。但是这次InP上有很多斑斑点点。这两个样品的区别是：前一个样品GaAs表面粗糙，InP很亮。后一个样品GaAs表面很亮，InP表面很粗糙。不知道这些斑点是不是缺陷。查文献遇到过类似的斑点，发信问作者，他说是减薄导致的缺陷，但是他还说硬的材料（GaAs）应该比不太硬的材料（InP，GaSb）少些斑点。