回复xiechangwei发表于：2010/12/1 16:09:20悬赏金额：
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未解决
我们公司一直用帕纳科的Axios仪器，其真空度也一直很好，通过清理真空室基本能保持在10Pa以内。后来帕纳科的工程师过来做完定期维护后，按规定换了部份零配件，发现真空度一直都在10Pa以上，才一个星期不到的时间就上升到40Pa了，我按正常开盖清理真空室后基本没发现有粉尘，清理完后真空度降到12Pa左右，但仍然上升很快，不清楚是什么问题，有人遇到过这种情况吗？
现在我初步怀疑是密封圈损坏或气路有泄漏，在测样时真空度能抽到18左右，也说明真空泵没有问题，希望各位达人能给点意见，郁闷啊！
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