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回复wlxsyzxztc发表于：2010/7/9 11:13:18悬赏金额：20积分状态：未解决

各位朋友大家好，请教一事

我单位现有一台上海电子光学研究所生产的dxs-10型SEM,闲置了好长时间，现在想用起来，但是问题很多

基本部件已经组装完毕，在抽真空时，机械泵抽到一定程度时，打开扩散泵，电源总是报警，不知道哪有问题，恳请各位给予帮助

或者能否有相关方面的使用手册，不胜感激

1# linzq 回复于：2010/7/9 11:29:12

原文由 wlxsyzxztc(wlxsyzxztc) 发表:
各位朋友大家好，请教一事

我单位现有一台上海电子光学研究所生产的dxs-10型SEM,闲置了好长时间，现在想用起来，但是问题很多

基本部件已经组装完毕，在抽真空时，机械泵抽到一定程度时，打开扩散泵，电源总是报警，不知道哪有问题，恳请各位给予帮助

或者能否有相关方面的使用手册，不胜感激

我过去有一台，估计不是电源报警。是扩散泵冷却水阀门没打开报的警。这个机器有必要恢复吗？很麻烦的，要恢复最好找上海电光所的袁长泰师傅13024184593

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