回复greenplayer2008发表于:2009/11/30 16:24:44悬赏金额:
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周五调谐时所有指标均正常,水峰大约7%,氮气峰约为5%。周末两天关机休息,今天早上开机6小时后调谐发现水峰约为43%,氮气峰20.03%,推斥极电压已经达到40V,离子源电压也相应增高了。
为什么停机2天后水峰就这么高呢?应该不是漏气的问题,有什么办法能够快速降低水峰?
uhlan 回复于:2009/11/30 19:27:20继续抽真空,直到水分降下来。水峰是很难降下来的。