呵呵，果然被我猜中了。看来你是铁了心了。
要做深度只能试着做。首先你要大概知道你的粉末样品平均粒度。
做压片时要尽可能避免污染。压片也要结实。可以考虑用一些对你所需要测试的元素没有影响的粘结剂（不用最好）。压片尽量的体积要小一点。
在测试的时候，就要根据每一次测试的情况来确定下一次Ar离子溅射的时间。由于表面形貌不平整，无法用台阶仪等设备来确定溅射速率，只好摸索。
由于，你的样品表面都吸附由金属离子，所以，要说明问题还要建立一个结构的模型，如果金属离子的含量有变化用它来解释，如果没变化，就可以推断内外的吸附能力是一样的。
做这个试验能不能得到你希望的结果我没有把握，怕万一没结果就白花钱了。不过想了想也没有其他什么方法能适合做这个。