回复sem1233发表于：2009/6/29 9:53:20悬赏金额：
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我所操作的电镜室日立，S4800，因为最近是梅雨天气。所以给空压机放水成了每星期必做的维护。可是为什么现在放水的时候，SEM都会响警报呢？而且响警报的时候，过度仓也会重新抽真空。以前不会的，这让我很困惑。我是把操作台和循环水全部关了以后再放水的。
原文由 sem1233 发表:
我所操作的电镜室日立，S4800，因为最近是梅雨天气。所以给空压机放水成了每星期必做的维护。可是为什么现在放水的时候，SEM都会响警报呢？而且响警报的时候，过度仓也会重新抽真空。以前不会的，这让我很困惑。我是把操作台和循环水全部关了以后再放水的。 |
开机前放水不就得了，关循环水引起报警是正常的。
空压机放水完全不用关电镜和循环水的呀，而且循环水是最后关的一个单元，不关问题也不大的~
fengyonghe 回复于：2009/6/29 12:11:01
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