在集成半导体器件，磁盘驱动器以及液晶显示器等行业中，空气中气态分子污染物AMC（Airborne Molecular Contaminants）越来越受到关注。AMC的存在会对原料、工艺、最终产品、生产和机械设备产生不同程度的损害，如光学透光率降低，接触电阻变高，粘接失效，不规则成型。

我摘抄了文献上写到：
在洁净室中，SO2  H2S NOX NH3是主要的在线测试气体；在某半导体厂T10级洁净室内，使用自动监测仪测试了SO2、NO/NO2 和NH3的浓度，分别为21.23ppb, NO25.79ppb, NO2 47.6ppb, NH3 83.26ppb,远远高于该单位要求值。

我想请教大师们个问题，一般洁净室如果在10万或1万等级里，AMC都是很低的：

可否有其他测试方法来对洁净室中的AMC进行检测，又没有个国标或者外标！？
国内有这样的第三方权威检测机构么，请告知！

谢谢！
附件是SEMIF21-1102
Classification of AMC levels in clean environments
SEMIF21-1102