原文由 gao8006 发表: 最近在使用扫描电镜的时候,图像突然变黑,同事说是灯丝损坏了,由于本人使用扫描电镜时间不长,所以向各位高手请教灯丝损坏的原因及如何更换灯丝,谢谢! |
这个问题做起来很简单,要从头到尾说一遍不是很容易。试试看吧。如果你的电子枪和我们的不同,下面的操作就不要做了,以免损坏设备。但最后一步必须遵守。
戴那种很薄的手套操作。
01, 镜筒放气
02, 打开扣环,把电子枪翻转至水平状态
03, 适当用力将维纳尔组件拉下来。不要转动。
04, 维纳尔组件由两部分组成:灯丝座和栅极帽
05, 在实体显微镜下观察灯丝尖端与光栏平面的相对位置。作为以后的参考
06, 从侧面看清楚调节刻度的位置,记住这个位置。
07, 顺时针转动栅极帽4格刻度左右
08, 两手各拿主一边用力拔开灯丝座和栅极帽。不要转动。
09, 用硬币做起子下掉栅极帽内的罗丝(固定光栏用)
10, 将栅极光栏倒出来,换上一个已清洗干净的光栏
11, 用硬币做起子把栅极帽内的罗丝适当拧紧,这样就固定了光栏
12, 徒手拧下灯丝座上的罗圈,(固定灯丝用)可以看到罗圈内有弹簧
13, 移去旧灯丝换上新灯丝,注意槽口和槽钉要对准。不要接触灯丝。
14, 徒手拧上固定灯丝用的罗圈。不要太紧,防止热胀冷缩损坏灯丝
15, 将灯丝座和栅极帽扣合在一起,注意槽口和槽钉要对准,适当用力听到嗒的声响就好了。
16, 在实体显微镜下观察灯丝尖端是否在光栏中心,若看不见灯丝,逆时针转动刻度一到两格。
17, 调整侧面的三颗对中螺丝,使灯丝尖端位于光栏中心
18, 逆时针转动栅极帽恢复到第06项记住的位置
19, 将维纳尔组件与电子枪槽口和槽钉对准,适当用力推听到嗒的声响就好了
20, 恢复电子枪直立状态,锁紧扣环
21, 抽真空,真空度达到后,加30千伏高压
22, 调整灯丝发射电流至欠饱和,观察发射电流是否满意。发射电流太大则顺时针转动刻度少许,重新观察。发射电流太小则逆时针转动刻度少许,重新观察。直至满意为止