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我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题,估计电镜也许可以,所以先发在这个版块,要是有其他版块有此项技术请告知一下,我再转发。谢谢!
我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚,大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬,完全可以忽略,金膜溅射在铬上的,厚度约50nm左右,我们想比较准确测量一下其厚度,误差 1-3nm以内吧。误差5-10nm左右呢???示意图如下