我的电镜是FEI的QUANTA200，能谱是EDAX的GENESIS 60S，能谱的CPS和DT数据经常不正常，开机有时全为0，重新启动电脑有数据了，可是不在正常范围内，通过调电镜的SPOT SIZE可以把DT调到约30％，可是这时CPS就特别低，低到几十，如果将AMP TIME调低，CPS能上去，但是做不出任何结果来。平常我们总做金属样，AMP TIME一般选到51.2um，CPS到3000左右，做出来的效果就比较好，但是很难这两个数据同时在很好的范围内，现在感觉能谱的CPS和DT很难控，让人感觉做能谱就像是碰运气一样，运气好了，启动CPS和DT值正常就可以做，运气不好，就没法做，只能重启能谱电脑，即使重启了也可能不正常没法做。还有个问题，做能谱时，collect e-时现在很慢，收集过来显示的图像也很不清晰，可是原来收集图像很快而且也很清晰的。我们这套机器用了6年了，原来管这机器的人走了，现在让我来管，可是好多东西不太明白，在这个论坛看了好多，也向各位老手们学了很多东西，现在请大家不吝赐教，感激不尽！！