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共有 3 人回复了该问答FEI SEM 相关问题
 回复zzb209发表于:2009/3/17 22:49:01悬赏金额:20积分 状态:已解决
1。spot size是由哪个硬件控制的
2. interaction volume有什么重要性和意义?


求助。。希望大家帮帮忙.
qqpainter 回复于:2009/3/18 14:40:33
束斑尺寸是通过聚光镜电流控制的。
作用体积是指电子束的激发深度,主要由电子束的能量控制,作用深度越深,里层型号会被激发出来,表面信息减少。
 回复  1# zhuangj581  回复于:2009/3/18 10:51:19
spot sizez在软件控制面板上可调  第二个问题不是一句话能回答的 可一参考相关书籍 电子和物质相互作用的有关内容
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