回复ahobo发表于：2005/4/16 12:03:00悬赏金额：
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已解决
实验室自己搭建的系统，
其功能包括对无机薄膜样品进行XRF（energy dispersive）分析，
为了验证该功能，
我制备了单一金属的厚度梯度薄膜，厚度从几百nm到几微米，
然后测量了薄膜中不同区域的厚度和反射的荧光强度，
当然，由于薄膜的吸收，荧光强度根膜厚并不成正比，
我现在想从薄膜的成分（只有一种元素）和厚度计算出其荧光强度分布曲线，
看是否如我实验的结果一致，
请问，哪里能找到这样的参考文献？最好带公式的？
另外请教：
从XRF谱中用无标样的办法是不是也可以定量或者半定量地解出元素的含量呢？
现在，有什么现成的算法或者软件么？？
1226 回复于：2009/8/8 13:40:42有些厂家的仪器软件当中就有测薄膜的组件
router 回复于：2006/11/22 17:15:00
测膜厚一般都是相对测量，信号的线形范围只能存在很小的范围，不知道你做的nm级的膜层致密程度如何。
从XRF谱中用无标样的办法是不是也可以定量或者半定量地解出元素的含量呢？
原则上可以.
请搜索膜厚测量查所需公式.
你们是完全自己做的仪器还是通过别的仪器改装的？
你可以这样，专门找个编程工程师来为你编软件！应该可以达到，不过比较罗嗦！有这方面的工程师的！
hdz69 回复于：2005/4/18 9:11:00
xrf中带有半定量分析软件，可以完成你的任务
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