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共有 9 人回复了该问答
Thermo DSQ漏气的问题
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docpost
发表于:2020/7/8 6:35:04
悬赏金额:
15积分
状态:
未解决
Thermo Finnigan DSQ,拆洗了离子源,更换泵油后再启动,Fore Pressure一直在1400mtarr,正常应该很快达到60mtarr,并能听见涡轮分子泵的启动。
通过油泵窗口,不时有小气泡往上冒,应该是哪儿儿漏气。检查了manifold cover,没发现异常。也查了真空泵的管子,都挺好,不知问题在何处。
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回复
1#
cham
回复于:2020-07-08 08:06:04
会不会是传输线接口那里的问题,有可能是那里的石墨垫圈松了。
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