你所说的真空管是否时PZT压电扫描器呀？楼上的兄弟说得很有道理，扫描器是AFM的核心部件，非常精密，不能随意打开，拆卸。
关于如何判断扫描器是否损坏。可以通过扫描标准光栅样品来测试。
最好扫描二维的光栅，如图所示。
这时，可以通过两个方面来判断扫描器的好坏：
1.图像形状时否正常。将扫描出来的图像，与光栅样品的说明书上的图像进行对比，看看是否有扭曲，失真等形变。
如果只有形状大体正确，只有少量扭曲的话，说明扫描器是好的，但是需要进行校正。
2.使用离线软件分析扫描出来的图像，测量光栅的间距是否均一，光栅的周期尺寸是否正确，光栅的正交性是否复合要求。如果间距不均一，周期尺寸不正确或光栅不正交的话，也说明扫描器需要再次进行校正和标定。

原文由 ubaktt 发表: 如何判別真空管是否压坏? 外观是否有明显的判别? 那如果不知受损，扫描出的图片会发现什么异常? 谢谢

原文由 ubaktt 发表: 如何判別真空管是否压坏? 外观是否有明显的判别? 那如果不知受损，扫描出的图片会发现什么异常? 谢谢

楼主说的是scanner的压电陶瓷管吧？这东西一般都是封装起来的，看不到，自己千万别试图打开。这么精密的核心部件，如果有一点损坏，图像一定不正常。图像正常的话，我觉得可以说明正常。如果不放心，你还是请教一下技术支持的工程师吧。