最近做EDS得到一张谱图感到非常奇怪,我百思不得其解,发上来听听大家有什么高见。
图(a)是我得到的EDS谱图,从谱图可以看出该区域的成分基本上都是Ni,Al含量只有3at%,但我搞不明白为什么Ni的K峰很高而L峰却非常低?
我排除了下列原因:
1。
结霜排除依据:图(b)是在同一天同一个样品不同区域得到的EDS谱图,在图(b)中Ni的K峰和L峰的比值就是正确的,如果是结霜的话,图(b)中Ni的L峰也应该比较低才对,可以排除掉。
2。
样品太厚排除依据:如果样品太厚由于吸收效应也会导致低能信息衰减,但我做能谱分析的区域应该比较薄,该区域可以得到很好的高分辨像(图(c)),我判断这个区域的厚度应该在10-20nm之间,完全可以看作是薄晶体。
我做能谱一般就是定性的看一下我的样品中含有哪几种元素,这种问题还是第一次碰到,头大 。